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本公开提供了一种MEMS移相器及其制作方法，该MEMS移相器包括：第一基板，其具有第一表面；共面波导，其位于所述第一基板的所述第一表面上，并且包括第一导电线和分别位于所述第一导电线两侧且与所述第一导电线绝缘的两条第二导电线；以及多个电容桥，...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司授权不得商用。