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三维存储器结构及其制备方法技术
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文档序号:28426231
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本发明提供一种三维存储器结构及其制备方法,所述三维存储器结构包括第一半导体层;第二半导体层,设置于所述第一半导体层上;第一支撑结构,所述第一支撑结构贯穿所述第二半导体层,且所述第一支撑结构的位置与底部选择栅切槽和/或顶部选择栅切槽的位置相对...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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