下载具有堆叠到衬底连接的高密度柱互连转换的技术资料

文档序号:28426027

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本申请涉及具有堆叠到衬底连接的高密度柱互连转换。一种半导体装置组合件可以包含第一半导体装置和中介层。所述中介层可以包含衬底和通孔,其中各个通孔包含暴露部分和嵌入部分,所述暴露部分从所述衬底的第一表面和第二表面中的一者或两者突出,并且所述嵌入...
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