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本发明涉及基板处理装置的基板支撑架、基板处理装置及基板处理系统。本发明公开了一种基板处理装置的基板支撑架，包括：一个以上的静电吸盘，安装基板通过静电力吸附基板；密封部，结合于静电吸盘，以在安装基板的状态下防止向上侧暴露静电吸盘；其中，密封部...
该专利属于圆益IPS股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过圆益IPS股份有限公司授权不得商用。

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