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本实用新型公开了一种真空气相沉积炉，包括：反应室，用于为待反应物质提供反应环境；钟罩型收集器，罩设于反应室的外周部、用于使气体冷凝并收集气体冷凝之后的产物，且设置有扩散孔；炉盖，罩设于钟罩型收集器的外周部，使炉盖内形成密闭空间；抽真空口，设...
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