一种真空气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空气相沉积炉，包括：反应室，用于为待反应物质提供反应环境；钟罩型收集器，罩设于反应室的外周部、用于使气体冷凝并收集气体冷凝之后的产物，且设置有扩散孔；炉盖，罩设于钟罩型收集器的外周部，使炉盖内形成密闭空间；抽真空口，设置于炉盖，用于在抽真空时使炉盖内空间的气体流出。在抽真空口处进行抽真空操作，待反应物质反应过程中产生的气体由出气孔出来之后，会沿着钟罩型收集器的内壁流动并冷凝，被钟罩型收集器收集，钟罩型收集器内的空气会流动至扩散孔，由于扩散孔与出气孔错位设置，因此气体在流动的过程中需要改变方向，流动路线为非直线，避免了气体直接被抽走，从而提高了真空气相沉积炉的收料率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空气相沉积炉
本技术涉及氧化亚硅生产设备
，更具体地说，涉及一种真空气相沉积炉。
技术介绍
由于光学镀膜材料氧化亚硅制备工艺的特殊性，需要在真空和高温的条件下使原材料反应生成气态产物，然后迅速冷凝收集，常见的真空高温炉无法满足该工艺需求，市场上亦无现成的成熟设备流通。由于光学镀膜材料市场较小，目前行业里知名生产厂家技术依旧停留在几十年前的水平，设备也是几十年前的设计然后专门定制的，操作不便，产量低，收料率低。现有技术中在制备氧化亚硅的过程中，高温加热之后的气体的流动线路一般为直线，容易使部分气体流失，降低收料率；或者是设置大型的窑炉，反应速度慢，延长反应时间之后使杂质增加；或者是采用螺旋进料方式，虽然可以保证连续上料，但是粉状原料相互之间具有间隙，严重影响反应速率。综上所述，如何提供一种可以提高收料率的真空气相沉积炉，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的是提供一种真空气相沉积炉，通过将收集器设置为钟罩式结构，使气体由反应室内出来之后能够沿曲线流动，减少了气体的流失本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空气相沉积炉，其特征在于，包括：/n反应室(1)，用于为待反应物质提供反应环境，且设置有用于使所述待反应物质反应之后的气体排出的出气孔(111)；/n钟罩型收集器(2)，罩设于所述反应室(1)的外周部、用于使所述气体冷凝并收集所述气体冷凝之后的产物，且设置有与所述出气孔(111)错位设置、以控制气体流动方向的扩散孔(21)；/n炉盖(3)，罩设于所述钟罩型收集器(2)的外周部，使所述炉盖(3)内形成密闭空间；/n抽真空口(31)，设置于所述炉盖(3)，用于抽真空操作时使所述炉盖(3)内空间的气体流出。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空气相沉积炉，其特征在于，包括：
反应室(1)，用于为待反应物质提供反应环境，且设置有用于使所述待反应物质反应之后的气体排出的出气孔(111)；
钟罩型收集器(2)，罩设于所述反应室(1)的外周部、用于使所述气体冷凝并收集所述气体冷凝之后的产物，且设置有与所述出气孔(111)错位设置、以控制气体流动方向的扩散孔(21)；
炉盖(3)，罩设于所述钟罩型收集器(2)的外周部，使所述炉盖(3)内形成密闭空间；
抽真空口(31)，设置于所述炉盖(3)，用于抽真空操作时使所述炉盖(3)内空间的气体流出。


2.根据权利要求1所述的真空气相沉积炉，其特征在于，所述炉盖(3)的侧壁底部设置有至少一个抽真空口(31)。


3.根据权利要求2所述的真空气相沉积炉，其特征在于，还包括设置于所述钟罩型收集器(2)下部的支撑部件(4)，所述支撑部件(4)设置有用于与所述抽真空口(31)对应的所述扩散孔(21)。

【专利技术属性】
技术研发人员：何畅雷，季晶晶，郎庆安，黄海，刘兆平，
申请(专利权)人：宁波富理电池材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33