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一种制备周期减半的亚微米光栅的方法技术
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文档序号:28417000
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本发明公开了一种制备周期减半的亚微米光栅的方法,涉及光学、微细加工、先进制造等领域,它解决了现有的光栅复制技术只能进行1:1光栅复制的问题,本发明利用一块亚微米母光栅制备出了周期减半的亚微米子光栅。本发明的方法为:首先制备出亚微米母光栅的P...
该专利属于鲁东大学所有,仅供学习研究参考,未经过鲁东大学授权不得商用。
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