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切割带和切割芯片接合薄膜制造技术
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下载切割带和切割芯片接合薄膜的技术资料
文档序号:28408024
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本发明涉及切割带和切割芯片接合薄膜。本发明所述的切割带是在基材层上层叠有粘合剂层的切割带,前述基材层由具备单一结构或层叠结构的树脂薄膜构成,前述基材层在100℃下的MD方向的热收缩率为20%以下,且以使用纳米压痕仪在25℃下测得的前述基材层...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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