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本发明提供一种无论工件的材质和杂质浓度等如何也能够适当地实施工件形状的测量的研磨装置。该研磨装置(1)使工件(W)与下定盘(11)及上定盘(12)相对旋转并且由安装在上下定盘(11、12)上的研磨垫(11a，12a)研磨工件(W)，其包括对...
该专利属于创技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创技股份有限公司授权不得商用。

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