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本发明公开了一种缺陷的检测方法、装置和计算机可读存储介质。缺陷的检测方法，包括步骤：1）获取参考图像和待测样品的图像；2）获取所述待测样品的图像的一个测量单元的第一灰度均值；3）根据所述第一灰度均值补偿所述参考图像的灰度均值；4）将补偿后的...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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