下载适用于化学抛光工艺槽的三向摇摆机构的技术资料

文档序号:28334720

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本实用新型公开了一种适用于化学抛光工艺槽的三向摇摆机构,它包括水平移动机构和摇摆移动机构;所述水平移动机构包括多个滑轮架支座以及水平移动架;所述水平移动架的两侧均穿装在滑轮架支座内,在水平移动架至少一侧的架体上设置有驱动臂,所述驱动臂与设置...
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