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公开了一种ATR扫描系统和一种用于将样本靠着ATR物镜的反射表面定位的方法。扫描系统包括ATR物镜(33)、控制器(40)、载物台(31)、和高度轮廓仪(35、37)。控制器形成反射表面(34)的图像。载物台以由控制器确定的速度在朝向反射表...
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