用于使ATR晶体和样本之间的接触自动化的方法和装置制造方法及图纸

公开了一种ATR扫描系统和一种用于将样本靠着ATR物镜的反射表面定位的方法。扫描系统包括ATR物镜(33)、控制器(40)、载物台(31)、和高度轮廓仪(35、37)。控制器形成反射表面(34)的图像。载物台以由控制器确定的速度在朝向反射表面的方向上移动样本(32)。当z轴载物台以第一速度移动样本时，高度轮廓仪测量样本和反射表面之间的最小距离。当样本距离ATR物镜的反射表面预定距离时，控制器使z轴载物台以第二速度向反射表面移动，同时形成反射表面的接近图像，以确定样本是否与反射表面接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于使ATR晶体和样本之间的接触自动化的方法和装置
技术介绍
量子级联激光器提供了一种可调谐的中红外(MIR)光源，可用于光谱测量和成像。许多感兴趣的化学成分具有在光谱的MIR区域激发的分子振动，所述区域的波长在2.5至25微米之间。因此，测量样品上不同位置的MIR光吸收可以提供关于作为样品位置的函数的样品化学性质的有用信息。一类成像光谱仪根据样品上的位置和MIR照射光的波长来测量从样品直接反射的光。反射的光量取决于样品的化学和物理属性，因为光既可能因样品中的吸收(反映样本的化学组成)而损失，也可能因散射(取决于样本表面的物理状态)而损失。因此，将直接反射吸收产生的光谱与文库中已知的化学吸收光谱进行比较是一项重大挑战。利用衰减全反射(ATR)照射样本的系统避免了样本对入射光散射造成的问题。例如，2018年1月9日发布的美国专利9,863,877描述了一种使用ATR扫描样本的一部分的方案。这些方案以小于临界角的角度反射来自晶体表面的入射光束。测量反射光强度，并与入射光强度进行比较，以确定与反射表面接触但在晶体外部的样本所提供的吸收。当光被全反射时，由光产生的电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ATR扫描系统，包括：/nATR物镜，其特征在于反射表面，进入所述ATR物镜的光从该反射表面全反射；/n控制器，其使光束进入所述ATR物镜并聚焦到所述反射表面上的一点，使得所述光束在所述点处从所述反射表面全反射，所述点由所述控制器控制，所述控制器通过在所述反射表面上的多个不同点的每一个点处测量从所述反射表面反射的光的强度来形成所述反射表面的图像；/nz轴载物台，其以由所述控制器确定的速度在朝向所述反射表面的方向上移动样本；和/n高度轮廓仪，其在所述z轴载物台以第一速度移动所述样本时测量所述样本与所述反射表面之间的最小距离。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180930 US 16/147,8281.一种ATR扫描系统，包括：
ATR物镜，其特征在于反射表面，进入所述ATR物镜的光从该反射表面全反射；
控制器，其使光束进入所述ATR物镜并聚焦到所述反射表面上的一点，使得所述光束在所述点处从所述反射表面全反射，所述点由所述控制器控制，所述控制器通过在所述反射表面上的多个不同点的每一个点处测量从所述反射表面反射的光的强度来形成所述反射表面的图像；
z轴载物台，其以由所述控制器确定的速度在朝向所述反射表面的方向上移动样本；和
高度轮廓仪，其在所述z轴载物台以第一速度移动所述样本时测量所述样本与所述反射表面之间的最小距离。


2.根据权利要求1所述的ATR扫描系统，其中所述控制器在所述样本位于所述反射表面的第一距离内之前形成所述反射表面的背景图像。


3.根据权利要求2所述的ATR扫描系统，其中所述控制器使所述z轴载物台以第二速度朝向所述反射表面移动，同时形成所述反射表面的接近图像，并将所述图像与所述背景图像进行比较，所述第二速度小于所述第一速度。


4.根据权利要求3所述的ATR扫描系统，其中所述第二速度小于5微米/秒。


5.根据权利要求3所述的ATR扫描系统，其中当所述接近图像之一指示与所述样本和所述反射表面之间的接触一致的区域时，所述控制器停止所述z轴载物台阻止其进一步移动。


6.根据权利要求5所述的ATR扫描系统，其中所述控制器在所述控制器停止所...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·科尔，A·盖特勒，
申请(专利权)人：安捷伦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US