下载振动器件的技术资料

文档序号:28325757

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提供振动器件,能够实现小型化、特别是薄型化。振动器件具有:基板,其具有第1面以及位于所述第1面的相反侧的第2面;加热器,其设置在所述基板的所述第1面侧;温度传感器,其设置在所述基板的所述第1面侧;振动片,其配置在所述基板的所述第1面侧;盖,...
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