下载一种全自动高效单晶硅双面抛光机的技术资料

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本实用新型公开了一种全自动高效单晶硅双面抛光机,涉及单晶硅加工领域,包括底座,所述底座顶部的正中设置有承台,承台底部的四角分别固定连接有弹力伸缩导杆,底座顶部的两侧对称固定连接有支撑台,两个支撑台相对一侧的中部对称设置有爪形夹持夹具,爪形夹...
该专利属于浙江众晶电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江众晶电子有限公司授权不得商用。

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