下载支承单元、基板处理装置及基板处理方法的技术资料

文档序号:28324101

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本发明提供一种支承单元、基板处理装置和基板处理方法。用于处理基板的装置包括:壳体,其在内部具有处理空间;气体供应单元,其将疏水性气体供应到处理空间中以使基板疏水化;以及支承单元,其在处理空间中支承基板。支承单元包括:支承板;加热构件,其加热...
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