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本发明提出一种设备前后端模块，其包括顶壁、底壁及多个内侧壁，所述顶壁与所述底壁相对设置，多个所述内侧壁依次相连，并分别与所述顶壁与所述底壁相连，其中一个所述内侧壁与装载互锁腔室相邻并设有第一装载互锁门，所述内侧壁或所述底壁上设有排气单元，所...
该专利属于夏泰鑫半导体(青岛)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过夏泰鑫半导体(青岛)有限公司授权不得商用。

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