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本申请公开了一种半导体检测方法、半导体检测系统、及非易失性计算机可读存储介质。半导体检测系统包括检测仪与承载件，检测方法包括：校准放置在承载件上的工件的初始位置；对工件的中心位置进行聚焦以获取参考高度；对工件的至少一个待测位置进行聚焦，以获...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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