下载一种自驱动压力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:28318000

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本发明提供了一种自驱动压力传感器及其制备方法。该自驱动压力传感器,包括基板、形成在所述基板的上表面的电极层、放置在所述电极层的上表面的且用于作为第一摩擦层的磁流体、设置在基板的下方的永磁体以及设置在所述磁流体的上方的第二摩擦层;所述第二摩擦...
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