一种自驱动压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种自驱动压力传感器及其制备方法。该自驱动压力传感器，包括基板、形成在所述基板的上表面的电极层、放置在所述电极层的上表面的且用于作为第一摩擦层的磁流体、设置在基板的下方的永磁体以及设置在所述磁流体的上方的第二摩擦层；所述第二摩擦层设置成在受到外界压力时朝向所述第一摩擦层方向移动，并通过与第一摩擦层接触并分离，从而产生电信号；所述磁流体和永磁体之间具有预设距离，且所述预设距离设置成可变的，以在所述预设距离发生改变时改变所述磁流体的形状，从而改变自驱动压力传感器的灵敏度。根据本发明专利技术的方案，通过改变永磁体与磁流体之间的预设距离，从而改变永磁体的形状，进而改变自驱动压力传感器的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种自驱动压力传感器及其制备方法
本专利技术涉及压力传感器
，尤其涉及一种自驱动压力传感器及其制备方法。
技术介绍
近年来，随着物联网技术的飞速发展，传感器成为人们日常生活中必不可少的一部分。但是目前的大多数传感器仍然依赖于传统电池，需要频繁地充电或更换电池，因此开发自驱动且方便使用的传感器成为亟须解决的问题。自驱动传感器具有环保、轻便、低成本以及使用寿命长等特点，可以将环境中的各种能量转换为电能，并在一定程度上取代电池。在各种可自驱动能源收集器件中，摩擦纳米发电机(TENG)以其材料普遍、结构简单、成本低廉和易于制造等突出优势，引起了人们的极大兴趣。对于压力传感这一重要领域，将摩擦纳米发电机与特殊的微结构相结合，出现了基于摩擦效应的自驱动压力传感器，能够将外部压力刺激实时转化为电信号输出。通过在材料表面构造微结构，降低了摩擦层的表面刚度以及增加了接触面面积，因而有效提升传感灵敏度。然而现阶段，微结构制造方法大多集中于光刻、激光刻蚀、3D打印技术等，不仅工序繁杂，而且成本不菲。同时，每完成一个器件，生成的微结构就被固定，那么它的灵本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自驱动压力传感器，其特征在于，包括基板、形成在所述基板的上表面的电极层、放置在所述电极层的上表面的且用于作为第一摩擦层的磁流体、设置在所述基板的下方的永磁体以及设置在所述磁流体的上方的第二摩擦层；/n所述第二摩擦层设置成在受到外界压力时朝向所述第一摩擦层方向移动，并通过与所述第一摩擦层接触并分离，从而产生电信号；/n所述磁流体和所述永磁体之间具有预设距离，且所述预设距离设置成可变的，以在所述预设距离发生改变时改变所述磁流体的形状，从而改变自驱动压力传感器的灵敏度。/n

【技术特征摘要】
1.一种自驱动压力传感器，其特征在于，包括基板、形成在所述基板的上表面的电极层、放置在所述电极层的上表面的且用于作为第一摩擦层的磁流体、设置在所述基板的下方的永磁体以及设置在所述磁流体的上方的第二摩擦层；
所述第二摩擦层设置成在受到外界压力时朝向所述第一摩擦层方向移动，并通过与所述第一摩擦层接触并分离，从而产生电信号；
所述磁流体和所述永磁体之间具有预设距离，且所述预设距离设置成可变的，以在所述预设距离发生改变时改变所述磁流体的形状，从而改变自驱动压力传感器的灵敏度。


2.根据权利要求1所述的自驱动压力传感器，其特征在于，所述磁流体形成有多个尖端，且所述尖端具有预设高度。


3.根据权利要求2所述的自驱动压力传感器，其特征在于，所述预设距离选择为范围在0-2cm中任一值。


4.根据权利要求3所述的自驱动压力传感器，其特征在于，所述预设距离选择为范围在1-1.4cm中任一值。


5.根据权利要求3所述的自驱动压力传感器，其特征在于，所述磁流体的所述尖端的形状随着所述预设距离的增大而变尖变高，直至距离达到一预设距离后，随着预设距离的增大而变低变钝；
所述磁流体的所述尖端的数量随着所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙旭辉，文震，刘静雅，雷浩，张婷婷，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32