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本发明公开了一种冷喷涂制造旋转靶材的工艺及其生产设备，工艺包括如下步骤：1)对基体依次进行超声波清洗、烘干、喷砂处理；2)对基体所在区域进行抽真空操作；3)将ITO粉末导入喷枪内；同时在喷枪内导入惰性气体；4)驱动控制基体旋转，并控制喷枪沿...
该专利属于湖南柯盛新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南柯盛新材料有限公司授权不得商用。

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