下载成膜装置的技术资料

文档序号:28302273

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成膜装置具备:成膜托盘(10),具有载置导电性糊剂(54)的供给面(12);刮板(30),具有被按压于成膜托盘(10)的供给面(12)的下表面(32);及第一凹部(14),设于成膜托盘(10),具有形成于成膜托盘(10)的供给面(12)的第...
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