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一种磁存储器底电极及其制造工艺和磁存储器制造技术
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文档序号:28298923
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本发明提供了一种磁存储器底电极及其制造工艺和磁存储器,制造工艺包括:衬底片上已完成磁存储器底部金属导线制作及表面平坦化;依次沉积第一电介质层、第二电介质层、第三电介质层、第四电介质层和第五电介质层;光刻通孔图案;通过依次刻蚀所述第五电介质层...
该专利属于上海磁宇信息科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海磁宇信息科技有限公司授权不得商用。
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