下载一种磁存储器底电极及其制造工艺和磁存储器的技术资料

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本发明提供了一种磁存储器底电极及其制造工艺和磁存储器,制造工艺包括:衬底片上已完成磁存储器底部金属导线制作及表面平坦化;依次沉积第一电介质层、第二电介质层、第三电介质层、第四电介质层和第五电介质层;光刻通孔图案;通过依次刻蚀所述第五电介质层...
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