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一种高功率芯片封装散热结构及其制备方法技术
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文档序号:28298918
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一种高功率芯片封装散热结构,包括:高功率芯片封装,散热器,所述高功率芯片封装包括高功率芯片阵列、基板,所述高功率芯片阵列至少包括一个高功率芯片子单元,从晶圆上切割m×n的高功率芯片子单元获得所述高功率芯片阵列,所述高功率芯片阵列每个子单元之...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。
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