下载一种CMOS图像传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:28298839

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本发明提供一种CMOS图像传感器及其制造方法,包括:在半导体衬底中形成隔离区,限定CMOS图像传感器的单位像素的有源区;在半导体衬底上形成栅极;形成覆盖隔离区的边界区域的掩模层;使用掩模层进行杂质的离子注入;在有源区的一部分中形成钳位光电二...
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