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一种阵列基板，包括衬底、设置于衬底上的低温多晶硅薄膜晶体管和氧化物薄膜晶体管，低温多晶硅薄膜晶体管包括第一有源层，第一有源层上依次层叠覆盖有栅极绝缘层和层间绝缘层，栅极绝缘层包括氧硅化物层，氧化物薄膜晶体管包括第二有源层，层间绝缘层上设置有...
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