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一种RT探测器及其应用制造技术
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文档序号:28298727
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本发明公开了一种RT探测器及其应用,包含若干个子探测器,每个所述子探测器用以观察至少一个外设外延片;若干个所述子探测器的分布方式为阵列式分布;每个所述子探测器各包含一个光源和若干个子接收器;所述光源用于发出入射光;所述子接收器用于接收由外延...
该专利属于中山德华芯片技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山德华芯片技术有限公司授权不得商用。
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