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本发明的多重电压控制方法包括如下步骤：(a)开始对等离子负载供应高频电源；(b)执行持续高频电源的输出而提高该输出的电源冲击动作；(c)检测从所述等离子负载向高频电源侧反射的反射波，判断与所述反射波的量相对应的对应反射波损失量是否大于第一设...
该专利属于新动力等离子体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新动力等离子体株式会社授权不得商用。

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