下载用于振幅/相位双重调制的四区域光栅及其制作方法的技术资料

文档序号:28294311

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本发明公开了一种用于振幅/相位双重调制的四区域光栅及其制作方法,包括基底,所述基底沿着水平方向上光栅按照一个周期被划分成四个区域;四个所述区域从左至右依次分别为高基底层、高金属层、低基底层和低金属层;在所述高金属层和低金属层的上表面均设置有...
该专利属于华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)所有,仅供学习研究参考,未经过华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)授权不得商用。

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