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本发明提供了一种差分式MEMS气体传感器，其内部设有腔空间镜像对称且设于同一层的两组腔室组，每组腔室组各包括相交连通的气室腔和声室腔；每个声室腔内各设有一用来检测声音信号的微音器；每组腔室组仅通过其气室腔的顶部腔壁设有的多个透气孔与差分式M...
该专利属于天津同阳科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津同阳科技发展有限公司授权不得商用。

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