差分式MEMS气体传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种差分式MEMS气体传感器，其内部设有腔空间镜像对称且设于同一层的两组腔室组，每组腔室组各包括相交连通的气室腔和声室腔；每个声室腔内各设有一用来检测声音信号的微音器；每组腔室组仅通过其气室腔的顶部腔壁设有的多个透气孔与差分式MEMS气体传感器外的大气相连通；其中一组腔室组的气室腔还配备有激光组件，所述激光组件产生的激光能射入至该气室腔内。本发明专利技术采用双气室差分设计，极大降低环境噪声对测量的影响，精度高，体积小。

【技术实现步骤摘要】
差分式MEMS气体传感器
本专利技术属于MEMS气体传感器
，尤其是涉及一种采用差分式测试法的MEMS(微机电系统)气体传感器。
技术介绍
近年来，随着环保力度和范围的不断扩大，空气质量得到了较大改善，空气质量监测也开始向室内监测扩展。室内空气质量监测对测量精度要求并不比大气空气质量监测低，而设备体积却要求更小，甚至可以随身携带。现有的气体浓度检测设备有光谱仪、电化学传感器、MEMS传感器、化学分析仪等。光谱仪成本高，体积大，对环境要求较高。电化学传感器精度较低，漂移严重。化学分析仪测量缓慢，操作复杂，体积也大，不适合自动监测使用。MEMS传感器是未来的新方向。但目前公开的MEMS气体传感器技术，测量精度还达不到监测用途需求。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提出一种差分式MEMS气体传感器，具体为：差分式MEMS气体传感器，其内部设有腔空间镜像对称设于同一层的两组腔室组，每组腔室组各包括相交连通的气室腔和声室腔；每个声室腔内各设有一用来检测声音信号的微音器；每组腔室组仅通过其气室腔的顶部腔壁设有的多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.差分式MEMS气体传感器，其特征在于，其内部设有腔空间镜像对称且设于同一层的两组腔室组，每组腔室组各包括相交连通的气室腔和声室腔；每个声室腔内各设有一用来检测声音信号的微音器；每组腔室组仅通过其气室腔的顶部腔壁设有的多个透气孔与差分式MEMS气体传感器外的大气相连通；其中一组腔室组的气室腔还配备有激光组件，所述激光组件产生的激光能射入至该气室腔内。/n

【技术特征摘要】
1.差分式MEMS气体传感器，其特征在于，其内部设有腔空间镜像对称且设于同一层的两组腔室组，每组腔室组各包括相交连通的气室腔和声室腔；每个声室腔内各设有一用来检测声音信号的微音器；每组腔室组仅通过其气室腔的顶部腔壁设有的多个透气孔与差分式MEMS气体传感器外的大气相连通；其中一组腔室组的气室腔还配备有激光组件，所述激光组件产生的激光能射入至该气室腔内。


2.根据权利要求1所述的差分式MEMS气体传感器，其特征在于，包括基板层(1)、芯片层(2)、腔壁层(3)、封装上壳(4)；
基板层、芯片层和腔壁层由下至上依次叠加固定，封装上壳的四周侧壁的底面与基板层密封固接，封装上壳的上盖板叠加于腔壁层之上并密封连接，封装上壳与基板层共同配合将芯片层和腔壁层密封于传感器整体壳体内；并且，腔壁层(3)开设有贯通其上、下表面的通孔，由这些通孔的孔壁充当了气室腔和声室腔的腔侧壁，由芯片层上表面对应部分充当腔底壁，由封装上壳下表面对应部分充当腔顶壁；
两个微音器固设于芯片层上表面并位于相应的声室腔中；
透气孔(42)开设于封装上壳的上盖板的正对气室腔的区域，传感器的两组腔室组分别通过透气孔与外界气体交互。


3.根据权利要求1或2所述的差分式MEMS气体传感器，其特征在于，透气孔为矩形孔。


4.根据权利要求1或2所述的差分式MEMS气体传感器，其特征在于，透气孔皆由阻水透气滤膜所遮盖。


5.根据权利要求4所述的差分式MEMS气体传感器，其特征在于，所有透气孔(42)的孔口皆被同一层阻水透气滤膜所遮盖。


6.根据权利要求1或2所述的差分式ME...

【专利技术属性】
技术研发人员：高建民，李东光，张雪岭，俞晓涛，卢美娟，胥海艳，樊海春，张涛，
申请(专利权)人：天津同阳科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12