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本发明公开了一种利用双微球耦合模式分裂检测基板热均匀性的装置，所属光学器件技术领域，包括532nm激光脉冲光源、显微物镜、双微球耦合结构、MgF2基底、532nm滤光片、半透半反射镜、光谱分析仪、电荷耦合器件CCD、玻璃板、薄木板以及加热台...
该专利属于哈尔滨工程大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。

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