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本发明提供了一种规避环境污染的无尘室布置方式及采用其的无尘室，该布置方式在上夹层远离下夹层的一侧设置MAU新风机组，并使MAU新风机组分别向STK区和无尘室提供新风；该布置方式还包括分别设置STK区回风通道和无尘室回风通道，使STK区和无尘...
该专利属于上海和辉光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海和辉光电股份有限公司授权不得商用。

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