下载一种用于半导体晶圆包装的承载台的技术资料

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本实用新型提供了一种用于半导体晶圆包装的承载台,属于晶圆包装承载技术领域。该用于半导体晶圆包装的承载台包括基座、高度调节机构和抽湿真空支撑机构。所述高度调节机构包括液压缸、固定支杆和滑动支杆,所述固定支杆底面与所述基座固定连接,所述液压缸固...
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