温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于多晶硅还原炉的清洗系统，包括两种清洗流程，一种包括连接有脱盐水单元、高纯水单元和热风单元的清洗底座，取消了碱液喷射清洗，避免了碱液循环使用过程中带来的杂质污染问题；另一种包括连接有脱盐水单元、碱液单元、高纯水单元和热...
该专利属于四川永祥新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥新能源有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。