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本申请涉及单晶生产设备的领域，尤其是涉及一种带分气环的单晶炉炉盖，其包括炉盖以及竖直设置在炉盖上方的喉口管道，所述喉口管道与所述炉盖内侧连通，所述喉口管道上端设置有往主炉室内通入氩气的分气环组件，所述分气环组件上设置有总进气管，所述总进气管...
该专利属于北京北方华创真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创真空技术有限公司授权不得商用。

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