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本发明提供一种晶圆推片器治具及其推片方法，治具包括治具平台、晶圆匣和晶圆推送机构；所述晶圆推送机构包括推送组件和扫描检测组件，所述推送组件包括推送部，所述推送部对应所述晶圆匣的中部，所述扫描检测组件包括移动式检测杆件和检测传感器，所述推送部...
该专利属于苏州恩硕无尘科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州恩硕无尘科技有限公司授权不得商用。

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