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本发明涉及平面度检测技术领域,具体涉及一种镜面平面度检测控制方法和装置。该方法包括:调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向;控制激光干涉仪以初始方向为出光方向,沿镜面测量点序列移动,以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像;根据各镜面测量点...该专利属于湖北三江航天红阳机电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北三江航天红阳机电有限公司授权不得商用。
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本发明涉及平面度检测技术领域,具体涉及一种镜面平面度检测控制方法和装置。该方法包括:调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向;控制激光干涉仪以初始方向为出光方向,沿镜面测量点序列移动,以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像;根据各镜面测量点...