一种镜面平面度检测控制方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及平面度检测技术领域，具体涉及一种镜面平面度检测控制方法和装置。该方法包括：调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向；控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像；根据各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得镜面的平整度检测结果。本发明专利技术在平面镜的镜面平面度检测中，考虑到平面镜在空间姿态下，自身重力以及安装位置的限位作用有可能会导致镜面存在微小变形，从而影响平面镜的平面精度，因此在测试中增加了平面镜的空间姿态的平面度检测，从而提高了镜面平面度的检测精度。面平面度的检测精度。面平面度的检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种镜面平面度检测控制方法和装置


[0001]本专利技术涉及平面度检测
，具体涉及一种镜面平面度检测控制方法和装置。

技术介绍

[0002]在激光测距、光电纠偏控制等应用场景中，需要使用高精度的平面镜来作为反射镜反射测试光，使光电探测器获取时间、光强等检测信号，从而完成相应的光电检测。因此，这种特种平面镜在出厂时需要进行高精度的平面镜检测。
[0003]在工业在线仪器中，冷轧处理线中设置了对带钢进行纠偏的EPC(Edge Positoin Control，光电纠偏控制器)系统，以实现带钢的边缘检测，这就要求EPC系统中的反射镜要超过带钢的一半宽度。而带钢的特征宽度通常在100mm至800mm不等，因此EPC系统中需要使用到大尺寸的特种平面镜。
[0004]常规的平面镜平面度检测方案通常将被测反射镜水平放置或竖直放置，然后使用激光干涉仪以垂直镜面的方向采集镜面干涉图案，最后通过对镜面干涉图案的分析，获得反射镜的平面度检测结果。
[0005]但是，大尺寸的特种平面镜在通过常规平面镜平面度检测方案后，在实际应用中还是存在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镜面平面度检测控制方法，其特征在于，所述方法包括：调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向；其中，所述目标方向不平行于水平方向，且不平行于竖直方向；控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像；根据所述各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，获得所述镜面的平整度检测结果。2.根据权利要求1所述的镜面平面度检测控制方法，其特征在于，所述控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像，包括：步骤i，控制所述激光干涉仪移动至所述镜面测量点序列中的目标镜面测量点；步骤ii，获取所述激光干涉仪的当前干涉图像；步骤iii，判断所述当前干涉图像是否为所述激光干涉仪在所述目标镜面测量点干涉条纹数量最少的干涉图像；步骤iv，若不是，则调整所述激光干涉仪的当前出光方向，并返回步骤ii；步骤v，若是，则根据所述激光干涉仪的当前出光方向与所述初始出光方向，计算所述目标镜面测量点的调整角度，并将所述当前干涉图像作为所述目标镜面测量点的区域干涉图像。3.根据权利要求1所述的镜面平面度检测控制方法，其特征在于，所述控制激光干涉仪以初始方向为出光方向，沿镜面测量点序列移动，以获取各镜面测量点的调整角度和区域干涉图像之前，所述方法还包括：以完全覆盖所述镜面对应面积为目的，排列设定数量的检测区域；其中，所述检测区域的面积不超过所述激光干涉仪的单次最大检测区域的面积；将所述所述设定数量的检测区域的中心点位置作为镜面测量点，以遍历所有镜面测量点为目的，获得所述镜面测量点序列。4.根据权利要求3所述的镜面平面度检测控制方法，其特征在于，所述检测区域为正方形区域，且所述正方形区域的面积不超过所述单次最大检测区域的最大内接正方形的面积。5.一种镜面平面度检测控制装置，其特征在于，所述装置包括：第一控制模块，用于调整平面镜的镜面的镜面方向至目标方向；其中，所述目标方向不平行于水平方向，且不平行于竖直方向；第二控制模块，用于控制激光干涉仪以初始方向为出光...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐丹，罗宏毅，陈锐，林正东，杨波，张亚夫，
申请(专利权)人：湖北三江航天红阳机电有限公司，
类型：发明
国别省市：