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本发明涉及敏感元件技术领域，且公开了一种基于传感器内部硅片成膜立式CVD装置，包括外壳，所述外壳的上方设置有喷气箱，所述喷气箱的底部固定连接有喷气管，所述外壳的内底壁固定连接有承接板，所述承接板的表面转动连接有中轴，所述支撑杆的侧面固定连接...
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