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一种晶体生长装置,涉及晶体制备领域,尤其涉及使用提拉法制备低应力、低缺陷晶体的装置。包括炉体,置于炉体底部的坩埚及加热保温系统,晶体提拉机构,石英观察窗,所述装置还包括可升降式加热罩机构,包括加热罩体、加热罩支撑部件、设置在加热罩体四周的加...该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。
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一种晶体生长装置,涉及晶体制备领域,尤其涉及使用提拉法制备低应力、低缺陷晶体的装置。包括炉体,置于炉体底部的坩埚及加热保温系统,晶体提拉机构,石英观察窗,所述装置还包括可升降式加热罩机构,包括加热罩体、加热罩支撑部件、设置在加热罩体四周的加...