下载一种用悬浮转子的光学转镜的技术资料

文档序号:28210998

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本发明公开了一种用悬浮转子的光学转镜,包括:驱动件、转镜及壳体;转镜于真空的壳体内旋转;驱动件包括定子及磁力悬浮的转子;定子包括电机定子与悬浮轴承;转子整体或部分地布置于真空的壳体内;嵌绕有绕组的电机定子布置于壳体外;转子通过悬浮轴承装配于...
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