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振动装置和光学检测装置制造方法及图纸
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文档序号:28204022
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提供一种能够抑制振动的泄漏和阻尼的振动装置。本发明的振动装置(1)具备:振动元件(2),其具有包括第1开口端面(3a)和第2开口端面(3b)的筒状的振动体(3);支承体(15),在将连结振动体(3)的第1开口端面(3a)与第2开口端面(3b...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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