下载改善碳化硅上的MOSFET沟道中的载流子迁移率的器件的技术资料

文档序号:28203934

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本发明涉及一种布置在衬底10上的MOSFET器件,该MOSFET器件包括重掺杂的第一条带11和重掺杂的第二条带14,重掺杂的第一条带11和重掺杂的第二条带14分别被第一接触件13和第二接触件15覆盖,这两个条带被也出现在衬底10上的沟道18...
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