下载涂覆室的技术资料

文档序号:28203460

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一种用于要涂覆的元件的涂覆室(101)。涂覆室(101)包括在相对的竖直侧面(107a,107b,108a,108b)之间的通路,要涂覆的元件被输送通过该通路。在通路的一个端部处存在入口(105),在通路的另一个端部处存在出口(106)。涂...
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