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本发明公开了一种光波导芯片探针结构，包括：器件层，所述器件层具有耦合连接光纤的第一端；埋氧层，所述埋氧层设置在所述器件层的左侧；衬底层，所述衬底层设置在所述埋氧层的左侧；第一斜面，所述第一斜面从所述衬底层斜切向所述器件层，终止点超过所述器件...该专利属于上海传输线研究所（中国电子科技集团公司第二十三研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过上海传输线研究所（中国电子科技集团公司第二十三研究所）授权不得商用。