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本实用新型提供了一种晶圆表面金属离子收集装置，所述装置包括晶圆固定单元和扫描单元，所述晶圆固定单元用于固定晶圆，所述扫描单元用于对所述晶圆的下表面接触扫描，所述扫描单元位于所述晶圆固定单元下方。通过将金属收集溶液扫描单元设置在晶圆的下方，避...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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