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本实用新型提供了一种气体分配系统及半导体处理装置，包括：歧管，所述歧管的主干路的输入端接收处理气体，其多个支路的输出端通向相应的反应腔；位于所述主干路上的气压调节组件；以及，位于每个所述支路上依次连接的第一进气阀，质量流量控制器，第二进气阀...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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