下载一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构的技术资料

文档序号:28165761

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本发明公开了一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构,解决了如何完成炉内温度场梯度分布的技术问题。在下炉体内腔(18)中,设置有沿上下竖直方向的下保温筒(20),在上保温筒支撑支架(10)上设置有沿上下竖直方向设置的上保温筒(11),...
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