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本实用新型公开了一种工件盘镀膜装置，包括：真空室，所述真空室的底部安装有蒸发源和/或溅射源；公转传动件，设置于所述真空室内，并与设置于所述真空室外的公转电机传动连接；自转电机，设置于所述真空室内，并通过密封件与所述真空室的其余空间相隔离，所...
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